HORIBA STEC Z500质量流量计控制器

SEC-Z500X系列多种气体及多种流量范围数字式质量流量控制器 
高性能高端数字式质量流量控制器
Digital Mass Flow Controllers
主要特性
1) 多种气体及多种流量范围, 可以自由地*气体类型及更改满量程流量, 现场设定;
2) **高精度：±1.0% S.P. (25-** F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.);
3) 快速响应：< 1秒 (全量程范围内，任意设置点);
4) 非常方便的现场设置操作;
5) 多种气体及多种流量范围能力集成于一颗质量流量控制器，可以较大限度地减少库存;
6) 与现有模拟式质量流量控制器完全兼容;
7) 模拟通信与数字通信(DeviceNet)可同时进行;

气体接触部件材料：SUS 316L不锈钢(1sccm ~ 50slpm F.S. 类型)； SUS 316L不锈钢，Viton(氟化橡胶-密封)，PTFE(聚四氟乙烯)，磁性不锈钢(100 ~ 200slpm F.S. 类型)

满量程流量
SEC-Z512KX: 1/2sccm
SEC-Z512X: 10sccm ~ 10slpm
SEC-Z522X: 22slpm ~ 50slpm
SEC-Z532KVX: 100slpm
SEC-Z542KVX: 200slpm

无锡市三环仪器有限公司
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